Реферат: Схемотехническое и функциональное проектирование вакуумной коммутационной аппаратуры
6. Разработаны методика и математические модели функциональ-
ного и схемотехнического проектирования ВКА, позволяющие конструк-
тору генерировать и находить удовлетворяющие ТЗ технические реше-
ния ВКА тогда, когда его опыта и интуиции недостаточно. Методика
позволяет конструктору как самому, так и с помощью средств вы-
числительной техники осуществить синтез ФПД ВКА и целенаправленный
процесс генерации структур ВКА, их поиск и выбор рациональных тех-
нических решений.
7. Создана методика синтеза ФПД как этапа функционального
проектирования ВКА, позволяющая разрабатывать функциональную
структуру ВКА тогда, когда разработка ее элементной структуры на
основе известных функциональных структур не удовлетворяет требова-
ниям ТЗ.
8. Разработана методика и математическая модель оценки
конструкций ВКА и ее структурных составляющих, позволяющая
конструктору производить оценку их технического уровня и выявлять
необходимость проведения модернизации конструкций.
9. Развита классификация ВКА, включающая признаки используе-
мых механизмов и являющаяся основой их синтеза. Выявлен новый, ра-
нее не встречающийся в практике конструирования класс устройств с
механизмами переменной структуры: с отключением механизма гермети-
зации при перекрывании проходного отверстия и с отключением меха-
низма перемещения уплотнительного диска при его герметизации.
Предложена методика синтеза механизмов ВКА, обеспечивающая возмож-
ность формирования их кинематических схем.
10. Создан комплекс программных средств, реализующий разрабо-
танные методики и позволяющий автоматизировать основные этапы
функционального и схемотехнического проектирования ВКА, использо-
вание которого в 3 - 4 раза уменьшает трудоемкость конструкторских
разработок по сравнению с нормами традиционного проектирования. На
основе полученных результатов разработана функционально-структур-
ная модель САПР ВКА, реализующая этапы синтеза, анализа и модели-
рования ВКА, использование которой позволит конструктору получать
принципиально новые технические решения.
11. На базе проведенных теоретических и экспериментальных
исследований разработаны новые перспективные конструкции ВКА, от-
личающиеся повышенными технико-экономическими показателями, в
частности, меньшими (в 2 - 4 раза) потребляемой мощностью и
массо-габаритными характеристиками, повышенными (в 1,5 - 2 раза)
ресурсом и надежностью работы.
Результаты работы внедрены на заводе "Темп" (г. Фурманов),
экономический эффект оценивается в 55 тыс.руб., в ОИЯИ (г. Дубна),
а также в НПО "Вакууммашприбор" (г. Москва) и в НИИТМ (г. Зеленог-
рад).
.
ЛИТЕРАТУРА
1. Данилин Б.С. Вакуумные технологические процессы и оборудо-
вание микроэлектроники. - М.: Машиностроение, 1987. - 71 с.
2. Sharma J.K.N. Vacuum systems for ion implantation equipment
// Solid State Technol. - V. 17, N 12, 1974.
3. Тихонов А.Н. Особенности проектирования вакуумных систем
современного микрозондового оборудования. / Межвузовский
сборник."Электронное машиностроение, робототехника, техно-
логия ЭВП". - М.: МИЭМ, 1984. - с. 123 - 128.
4. Попов В.Ф. Ионно-лучевые установки. - Л.: Энергоиздат, 1981.
- 136 с.
5. Попов В.Ф., Горин Ю.Н. Процессы и установки электронно-ион-
ной технологии. - М.: Высшая школа, 1988. - 255 с.
6. Weston G.F. Materials for ultrahigh Vakuum. // Vakuum. - V.
25, N 7, 1975.
7. Jlsey R.J. Outgassing of vakuum materials. I. // Vakuum. -
V. 25, N 7, 1975.
8. Жилнин В.С., Жилнина Л.П., Кузьмин А.А. Исследование
десорбции паров воды с поверхности нержавеющей стали
Х18Н10Т в вакууме 10 - 10 торр при различных температурах.
/ Сборник ЭТ, сер. 4 "Электровакуумные и газоразрядные при-
боры". - М.: 1974.
9. Фигнер А.И. Высоковакуумная техника. / Сборник "Электроника
и ее применение". - М.: 1978.
10. Дьяков Ю.Н., Лукичев А.В., Тимофеев Б.В. Современные требо-
вания к технологическим средам и химикатам, используемым
для микроэлектроники. // Электронная промышленность. - Вып.
155, N 7, 1986. - с. 3 - 11.
- 2 -
11. Ивановский Г.Ф., Петров В.И. Ионно-плазменная обработка ма-
териалов. - М.: Радио и связь. 1986. - 232 с.
12. Данилин Б.С., Киреев В.Ю. Применение низкотемпературной
плазмы для травления и очистки материалов. - М.: Энергоато-
миздат, 1987. - 264 с.
13. Hoh P.D. Quantative particulate contamination studies
utilirinq reduced turbulence pumping and Ventig. // J.Vac.
Sci. and Technol. - V. 2, N 2, 1984. - p. 198.
14. Jolliver D.L. Contamination control: New dimensions in VLSI
manufacturing.// Solid State Tehnol. - 1984,March. - 129 р.
15. Микролитография второй половины 80-х годов. - ЦНИИ "Элект-
роника", вып. 21, 1985. - 5 с.
16. Winkler O. Le developpement de la metallurgie sous vide et
ses perspectives. // Le Vide. - V. 31, N 181, 1976.
17. Пипко А.И. Вакуумно-термическое оборудование в производстве
изделий электронной техники.- М.:Машиностроение,1986.- 55с.
18. Bauer R. Der Vacuumofen-Grundlage wirtschaflicher Warmebe-
handlungsverfahren.// Techn. Zbl. prakt. Metallbearb. - V.
70, N 11, 1976.
19. Ковалев Л.К. Вакуумное оборудование для производства тон-
копленочных структур квантовой электроники. // Обзоры по
ЭТ, серия 11 "Лазерная техника и оптоэлектроника". - 1982,
вып. 2 (886) - 83 с.
20. Розанов Л.Н. Вакуумные машины и установки. - Л.: Машиност-
роение.(Ленингр.отд.), 1975. - 336 с.
21. Саксаганский Г.Л. Вакуумная техника и технология электрофи-
зического аппаратостроения. - М.: ИТР. - Ч. 1., 1989. - 56
с., ч. 2., 1990. - 75 с.
22. Глазков А.А., Малышев И.Ф., Саксаганский Г.Л. Вакуумные
системы электрофизических установок.- М.: Атомиздат,1975.-
- 3 -
288 с.
23. Redhead P.A. Ultrahigh Vakuum applied to physics. // J.
Vac. Sci. and Technol. - V. 13, N 1, 1976.
24. Симонов В.В., Корнилов Л.А., Шашелев А.В., Шокин Е.В. Обо-
рудование ионной имплантации. - М.: Радио и связь, 1988. -
184 с.
25. Бирюкова Н.Е., Виноградов М.И., Данилов Н.Д., Шишловский
С.К. Сверхвысоковакуумный безмасляный агрегат. // Электрон-
ная техника, сер. 7 "Технология, организация производства и
оборудование". - Вып. 1 (98), 1980. - с. 64 - 68.
26. Кузнецова Л.А., Саксаганский Г.Л. и др. Вакуумные системы
экспериментальных термоядерных установок и реакторов с маг-
нитным удержанием. // Обзор ЦНИИ Атоминфор.: ОА-66. - М.:
1984. - 70 с.
27. Грошковский Я. Техника высокого вакуума. - М.: Мир, 1975.
28. Левин А.М. Конструкционные материалы и герметики в вакуум-
ном приборостроении. - М.: Машиностроение, 1986. - 59 с.
29. Пипко А.И., Плисковский В.Я., Пенчко Е.А. Конструирование и
расчет вакуумных систем. - М.: Энергия, 1979. - 504 с.
30. Панфилов Ю.В., Рябов В.Т., Цветков Ю.Б. Оборудование произ-
водства интегральных схем и промышленные роботы. - М.: Ра-
дио и связь, 1988. - 320 с.
31. Блинов И.Г., Кожитов Л.В. Оборудование полупроводникового
производства. - М.: Машиностроение, 1986. - 264 с.
32. Large-area industrial vacuum coation in the 1990 s.: [Pap.]
Prog. 36 th. Nat. Symp. Amer. Vac., Boston Mass, 23 - 27
Oct. 1989. / Johansen Paul R. // J. Vac. Sci. and Technol.
A., 1990. - 8, N 3 - p. 2798 - 2801.
33. Аверина А.П., Лоскутов А.И. Вакуумные аналитические приборы
и оборудование. - М.: Машиностроение, 1986. - 75 с.
- 4 -
34. Некрасов М.И. Учет дестабилизирующего влияния внутрикамер-
ных устройств на технологический процесс напыления в вакуу-
ме. / Межвузовский сборник "Электронное машиностроение, ро-
бототехника, технология ЭВП". - 1986. - с. 43 - 50.
35. Карасев Б.Г., Саксаганский Г.Л. и др. Комплекс экспер мен-
тальных установок для исследования радиационно-вакумных и
физикомеханических характеристик конструкционных материалов
ТЯР. / Сборник "Исследование и разработка материалов для
реакторов термоядерного синтеза". - М.: Наука, 1981, - с.
134 - 137.
36. Александров В.С., Саксаганский Г.Л. и др. Ускорительный
комплекс тяжелых ионов в ОИЯИ. - Дубна: Препринт ОИЯИ:
Р9-83-613, 1983. - 196 с.
37. Vacuum. / Mizobuchi A., Chida K.. // Annu. Rept, Jan. -
Страницы: 1, 2, 3, 4, 5, 6, 7, 8, 9, 10, 11, 12, 13, 14, 15, 16, 17, 18, 19, 20, 21
